ได้พบศิลาจารึกภาษามอญ 7 หลัก ที่เมืองลำพูน คืออาณาจักรหริภุญชัยในสมัยโบราณและบริเวณใกล้เคียง ดังนี้ วัดดอน วัดกู่กุฏ วัดแสนข้าวห่อ วัดมหาวัน วัดบ้าน ฮลุย และวัดต้นแก้ว ปัจจุบันรักษาอยู่ที่พิพิธภัณฑ์วัดพระธาตุหริภุญชัย  ตัวอักษรที่ใช้จารึกภาษามอญนั้นรูปร่างของตัวอักษรมีลักษณะใกล้เคียงกับตัวอักษรที่ใช้ในจารึกภาษามอญในรัชกาลของพระเจ้ากยันซิตถา ที่เมืองพุกาม ประเทศพม่า (พ.ศ. 1628 - 1656) แต่จารึกภาษามอญที่เมืองลำพูนจารึกขึ้นในพุทธศตวรรษที่ 16 และใกล้เคียงกับภาษามอญในสมัยปัจจุบันมากกว่า  ทั้งมีคำหลายคำที่ไม่เคยค้นพบในจารึกภาษามอญโบราณในประเทศพม่า  จารึกที่วัดดอนเป็นจารึกภาษามอญที่เมืองลำพูนซึ่งยังคงอยู่ในสภาพที่ดีที่สุด  ขุดค้นพบที่วัดดอน เมื่อ พ.ศ. 2460 ผู้สร้างจารึกหลักนี้ คือ พระเจ้าสัพพาธิสิทธิ  จารึกนี้สูงกว่า 1.60 เมตร กว้าง 90 เซนติเมตร และหนา 48 เซนติเมตร  มีข้อความสำคัญเกี่ยวกับการสร้างวัดเชตวัน การถวายที่ดิน ทาสและสัตว์ การสร้างเจดีย์ 3 องค์หน้าวัด และการถวายสิ่งของ  ท้ายที่สุดกล่าวถึงการที่พระเจ้าสัพพาธิสิทธิ และราชโอรสอีก 2 องค์ ได้เสด็จออกผนวชและประทับอยู่ในวัดนี้.